TR15S(精密片面ラッピングポリッシング装置) 00
| 型番 | 00 |
|---|
LED製造工程のLEDウェーハ工程に使用する装置
磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。プレート面の振れや摺動抵抗等の精度を追求することにより、加工対象物に無理な力をかけずに安定した加工レートを得られ、且つ加工中のスクラッチ発生を除去しています。
また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。
ラッププレート関係
ラッププレートの大きさ 外径φ380mm
ラッププレートの回転数 0～300rpm 無段階変速
ラッププレートの冷却方式 恒温水循環方式
フェーシング関係
フェーシングバイト 送り速度 0～500mm/min
フェ-シングバイト 切込方法 1目0.01mmマイクロメータヘッド
オシレーション関係
オシレーション揺動ストローク 0～30mm
オシレーション速度 無段階速度
強制駆動機構
強制駆動ドライブ数 2軸(オシレーション使用時)
強制駆動速度 無段階速度
ドライブ方式 ベルト伝達駆動
ネジ切り機構
スパイラルピッチ 0.1～9.9mm
エアーシリンダー機構
エアーシリンダーストローク 100mm
加圧重量範囲 10～50kg
供給エアー 5.0kg/cm2
加工対象
最大加工サイズ 丸 約φ140mm
最大加工サイズ 角 約□95mm
装置重量寸法
装置重量(フル装備) 約800kg
