6インチウェハ対応 フルオートブレーク装置 TEC-1228AL
| 型番 | TEC-1228AL |
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□□□□□6インチウェハに対応した次世代型ブレーク装置です。□□□□□
【特長】
●6インチウェハに標準対応
ブレークブレードとワークテーブルを交換することで、2インチから4インチウェハにも
対応可能です。
●ブレーク認識機能搭載
自動機には欠かせないブレーク認識機能の搭載により、ブレークミスを
減少させます。
●リング搬送機能向上によるスループットの向上
ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。
●画像認識機能向上による操作性の向上
視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。
【オプション】
上面ライトシステム
(下面からの照射だけでは見え難いウェハに対して、有効な上面から照射を行います。)
電磁ハンマーユニット
(通常のブレーク動作だけでは割れ難いウェハに対して、ブレークのサポートをする
ユニットです。)
【サイズ(幅×奥行×高さ)/重さ】
1516mm×862mm×1506mm / 650kg
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【型格】 (型番) (直径(Φ)) (先端硬度(°)) (先端R(μR)) (長さ(L))TDN-0001 / 0.7 / 12.5 / 15-20 / 17T...
